光伏
基于PC的PECVD系统解决方案
项目背景
PECVD即借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应,因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD)。
系统描述
途舰自动化结合BECKHOFF基于PC的控制平台和丰富的远程IO站,强大的软件平台能力,给PECVD设备提供了完美解决方案。TwinCAT HMI的使用给客户带来了一种基于Web的全新人机交互体验。借助物联网技术,方便实现设备的批量部署和远程维护。
系统架构图

方案优势
基于PC的控制系统,性能高,扩展能力强;
EtherCAT现场总线,可兼容第三方所有EtherCAT从站和其他现场总线产品;
温度自整定算法,可快速实现炉管的多段控温,控制精准快速;
TwinCAT HMI,基于web的组态平台,操作简单,功能强大;
设备的横向和纵向轻松打通,轻松实现工业4.0。
总结
途舰自动化结合倍福的产品优势提供基于PC的PECVD解决方案,简化了系统的复杂性,提高了系统稳定性和使用效率。标准化的程序架构可以推广使用到LPCVD,ALD,MOCVD等设备。