途舰自动化

光伏

基于PC的PECVD系统解决方案

项目背景

PECVD即借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD)。

 

系统描述

途舰自动化结合BECKHOFF基于PC的控制平台和丰富的远程IO站，强大的软件平台能力，给PECVD设备提供了完美解决方案。TwinCAT HMI的使用给客户带来了一种基于Web的全新人机交互体验。借助物联网技术，方便实现设备的批量部署和远程维护。

 

系统架构图


方案优势

基于PC的控制系统，性能高，扩展能力强；
EtherCAT现场总线，可兼容第三方所有EtherCAT从站和其他现场总线产品；
温度自整定算法，可快速实现炉管的多段控温，控制精准快速；
TwinCAT HMI，基于web的组态平台，操作简单，功能强大；
设备的横向和纵向轻松打通，轻松实现工业4.0。

 

总结

途舰自动化结合倍福的产品优势提供基于PC的PECVD解决方案，简化了系统的复杂性，提高了系统稳定性和使用效率。标准化的程序架构可以推广使用到LPCVD，ALD，MOCVD等设备。